От издателя
В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделии микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования. Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.
Вес: 405
Ширина упаковки: 145
Высота упаковки: 10
Глубина упаковки: 215
Автор: Вячеслав Галперин,Евгений Данилкин,Алексей Мочалов
Тип издания: Отдельное издание
Тип обложки: Твердый переплет
Тираж: 770
Произведение: Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях
Дополнительно
Автор: В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов
ISBN: 978-5-9963-0032-7
Издательство: Бином. Лаборатория знаний
Год выпуска: 2015
Серия: Нанотехнологии
