Пособие посвящено механике микросистем, являющейся составной частью физики микросистем. Изложены основы теории механических колебаний, анализа напряженно-деформированного состояния несущих элементов, демпфирования, электромеханики. Рассмотрены современные конструкции микрогироскопов и акселерометров, микрозеркала, что обусловлено большим практическим интересом к таким приборам. Предназначено для студентов старших курсов, обучающихся по направлениям (специальностям) "Микросистемная техника" и "Микроэлектроника и твердотельная электроника". Может быть полезно аспирантам и инженерам, занимающимся проектированием и разработкой микросистемной техники.
Вес: 285
Ширина упаковки: 150
Высота упаковки: 10
Глубина упаковки: 225
Автор: Владимир Тимофеев,Анатолий Погалов,Сергей Угольников,Андрей Андрианов,Олег Панкратов
Статус: Букинистическое издание
Сохранность: Хорошая
Тип издания: Отдельное издание
Тип обложки: Твердый переплет
Формат издания: 60x90/16
Издательство: Бином. Лаборатория знаний
ISBN: 978-5-9963-0636-7
Тираж: 500
Год выпуска: 2014
Количество страниц: 176
Язык издания: Русский
Произведение: Техническая механика микросистем